alta pureca heksametildisiloksano (HMDSO) CAS n-ro 107-46-0
Heksametildisiloksano (HMDSO), linia polidisiloksano, estas organosilikona reakciilo ofte utiligita kiel fonto por plasmo plifortigita kemia vapordemetado (PE-CVD) de maldikaj filmoj de siliciokunmetaĵoj. Ĝi ankaŭ estas utiligita kiel anstataŭaĵo al silano en silicia integra cirkvitoteknologio.
Kemia Nomo: Heksametildisiloksano
CAS-N-ro:107-46-0
Molekula formulo: C6H18OSi2
Molekula pezo: 162,38
Aspekto: Senkolora travidebla likvaĵo
Heksametildisiloksano Tipaj Propraĵoj
| Eroj | Specifoj |
| Specifa Pezo | 0,7600-0,7700g/cm3 |
| Refrakta Indekso (n25D) | 1.3746-1.3750 |
| Fandpunkto | -59 °C (lumigita) |
| Bolpunkto | 101 °C (lumigita) |
| Fp | 33 °F |
Atestilo: 
Kion ni povas provizi: 
