Hexametildisiloxano de alta pureza (HMDSO) No. CAS 107-46-0
El hexametildisiloxano (HMDSO), un polidisiloxano lineal, es un reactivo organosilícico comúnmente utilizado como fuente para la deposición química de vapor mejorada por plasma (PE-CVD) de películas delgadas de compuestos de silicio. También se emplea como sustituto del silano en la tecnología de circuitos integrados de silicio.
Nombre químico: Hexametildisiloxano
Número CAS:107-46-0
Fórmula molecular: C6H18OSi2
Peso molecular: 162,38
Aspecto: Líquido transparente incoloro
Propiedades típicas del hexametildisiloxano
| Elementos | Presupuesto |
| Peso específico | 0,7600-0,7700 g/cm3 |
| Índice de refracción (n25D) | 1,3746-1,3750 |
| Punto de fusión | -59 °C(encendido) |
| Punto de ebullición | 101 °C(encendido) |
| fp | 33 °F |
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