kõrge puhtusastmega heksametüüldisiloksaan (HMDSO) CAS nr 107-46-0
Heksametüüldisiloksaan (HMDSO), lineaarne polüdisiloksaan, on räniorgaaniline reagent, mida tavaliselt kasutatakse räniühendite õhukeste kilede plasma tõhustatud keemilise aurustamise-sadestamise (PE-CVD) allikana. Seda kasutatakse ka silaani asendajana räni integraallülituse tehnoloogias.
Keemiline nimetus: Heksametüüldisiloksaan
CAS nr:107-46-0
Molekulaarne valem: C6H18OSi2
Molekulmass: 162,38
Välimus: värvitu läbipaistev vedelik
Heksametüüldisiloksaani tüüpilised omadused
| Üksused | Tehnilised andmed |
| Erikaal | 0,7600-0,7700g/cm3 |
| Murdumisnäitaja (n25D) | 1,3746-1,3750 |
| Sulamistemperatuur | -59 °C (valgus) |
| Keemispunkt | 101 °C (kir.) |
| Esiettekanne | 33 °F |
Sertifikaat: 
Mida saame pakkuda: 
