Hexaméthyldisiloxane (HMDSO) CAS n ° 107-46-0
L'hexaméthyldisiloxane (HMDSO), un polydisiloxane linéaire, est un réactif organosilicon couramment utilisé comme source de dépôt de vapeur chimique amélioré plasmatique (PE-CVD) de films minces de composés de silicium. Il est également utilisé comme substitut au silane dans la technologie des circuits intégrés en silicium.
Nom chimique: hexaméthyldisiloxane
CAS no.:107-46-0
Fomula moléculaire: C6H18OSI2
Poids moléculaire: 162.38
Apparence: liquide transparent incolore
Hexaméthyldisiloxane Propriétés typiques
| Articles | Caractéristiques |
| Gravité spécifique | 0,7600-0.7700g / cm3 |
| Indice de réfraction (N25D) | 1.3746-1.3750 |
| Point de fusion | -59 ° C (lit.) |
| Point d'ébullition | 101 ° C (lit.) |
| Fp | 33 ° F |
Certificat: 
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