Hexaméthyldisiloxane (HMDSO) de haute pureté N° CAS 107-46-0
L'hexaméthyldisiloxane (HMDSO), un polydisiloxane linéaire, est un réactif organosilicié couramment utilisé comme source pour le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PE-CVD) de films minces de composés de silicium. Il est également utilisé comme substitut au silane dans la technologie des circuits intégrés au silicium.
Nom chimique : Hexaméthyldisiloxane
N° CAS :107-46-0
Formule moléculaire : C6H18OSi2
Poids moléculaire : 162,38
Aspect : Liquide transparent incolore
Propriétés typiques de l'hexaméthyldisiloxane
Articles | Caractéristiques |
Gravité spécifique | 0,7600-0,7700g/cm3 |
Indice de réfraction (n25D) | 1,3746-1,3750 |
Point de fusion | -59 °C(allumé.) |
Point d'ébullition | 101 °C(allumé.) |
Fp | 33 °F |
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