nagy tisztaságú hexametil-disziloxán (HMDSO) CAS-szám 107-46-0
A hexametil-disziloxán (HMDSO), egy lineáris polidisziloxán, egy szerves szilícium reagens, amelyet gyakran használnak szilíciumvegyületek vékony filmrétegeinek plazmanövelt kémiai gőzleválasztásához (PE-CVD). A szilícium integrált áramköri technológiában a szilán helyettesítőjeként is alkalmazzák.
Kémiai név: Hexametil-disziloxán
CAS szám:107-46-0
Molekulaképlet: C6H18OSi2
Molekulatömeg: 162,38
Megjelenés: színtelen, átlátszó folyadék
Hexametil-disziloxán tipikus tulajdonságai
| Elemek | Műszaki adatok |
| Fajsúly | 0,7600-0,7700 g/cm3 |
| Törésmutató (n25D) | 1,3746-1,3750 |
| Olvadáspont | -59 °C (megvilág.) |
| Forráspont | 101 °C (megl.) |
| Fp | 33 °F |
Bizonyítvány: 
Amit nyújtani tudunk: 
