ad alta purezza esametildisiloxane (HMDSO) CAS n. 107-46-0
L'esametildisiloxane (HMDSO), un polidisilossano lineare, è un reagente organosilicone comunemente utilizzato come fonte per la deposizione di vapore chimico al plasma migliorato (PE-CVD) di sottili film di composti di silicio. Viene inoltre impiegato come sostituto del silano nella tecnologia dei circuiti integrati al silicio.
Nome chimico: esametyldisilossane
CAS NO.:107-46-0
Fomula molecolare: C6H18OSI2
Peso molecolare: 162,38
Aspetto: liquido trasparente incolore
Proprietà tipiche esametildisiloxane
| Elementi | Specifiche |
| Peso specifico | 0.7600-0.7700G/cm3 |
| Indice di rifrazione (N25D) | 1.3746-1.3750 |
| Punto di fusione | -59 ° C (lett.) |
| Punto di ebollizione | 101 ° C (lett.) |
| Fp | 33 ° F. |
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