高純度ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO) CAS No. 107-46-0
直鎖ポリジシロキサンであるヘキサメチルジシロキサン (HMDSO) は、シリコン化合物の薄膜のプラズマ化学蒸着 (PE-CVD) のソースとして一般的に使用される有機シリコン試薬です。また、シリコン集積回路技術においてシランの代替品としても使用されます。
化学名: ヘキサメチルジシロキサン
CAS番号:107-46-0
分子式:C6H18OSi2
分子量:162.38
外観:無色透明の液体
ヘキサメチルジシロキサンの代表的な性質
アイテム | 仕様 |
比重 | 0.7600~0.7700g/cm3 |
屈折率(n25D) | 1.3746~1.3750 |
融点 | -59 °C(点灯) |
沸点 | 101℃(点灯) |
FP | 33°F |
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