жоғары таза гексаметилдисилоксан (HMDSO) CAS № 107-46-0
Гексаметилдисилоксан (HMDSO), сызықтық полидизилоксан, кремний қосылыстарының жұқа қабықшаларының плазмадағы күшейтілген химиялық бу тұндыру (PE-CVD) көзі ретінде жиі қолданылатын кремнийорганикалық реагент болып табылады.Ол сондай-ақ кремний интегралдық схемасы технологиясында силанды алмастырғыш ретінде қолданылады.
Химиялық атауы: гексаметилдизилоксан
CAS нөмірі:107-46-0
Молекулалық фомула: C6H18OSi2
Молекулалық массасы: 162,38
Сыртқы түрі: Түссіз мөлдір сұйықтық
Гексаметилдизилоксанның Типтік қасиеттері
| Элементтер | Техникалық сипаттамалар |
| Меншікті ауырлық | 0,7600-0,7700г/см3 |
| Сыну көрсеткіші (n25D) | 1,3746-1,3750 |
| Еру нүктесі | -59 °C (лит.) |
| Қайнау нүктесі | 101 °C (лит.) |
| Fp | 33 °F |
Сертификат: 
Біз не бере аламыз: 
