고순도 헥사메틸디실록산(HMDSO) CAS 번호 107-46-0
선형 폴리디실록산인 헥사메틸디실록산(HMDSO)은 실리콘 화합물 박막의 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PE-CVD)을 위한 소스로 일반적으로 사용되는 유기실리콘 시약입니다. 또한 실리콘 집적 회로 기술에서 실란의 대체품으로 사용됩니다.
화학명 : 헥사메틸디실록산
CAS 번호:107-46-0
분자식:C6H18OSi2
분자량: 162.38
외관 : 무색 투명한 액체
헥사메틸디실록산의 일반적인 특성
| 품목 | 명세서 |
| 비중 | 0.7600-0.7700g/cm3 |
| 굴절률(n25D) | 1.3746-1.3750 |
| 녹는점 | -59°C(점등) |
| 비등점 | 101°C(점등) |
| Fp | 33°F |
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