Гексаметилдисилоксан високої чистоти (HMDSO) CAS № 107-46-0
Гексаметилдисилоксан (HMDSO), лінійний полідисилоксан, є кремнійорганічним реагентом, який зазвичай використовується як джерело для плазмового посиленого хімічного осадження з парової фази (PE-CVD) тонких плівок сполук кремнію.Він також використовується як замінник силану в технології кремнієвих інтегральних схем.
Хімічна назва: гексаметилдисилоксан
Номер CAS:107-46-0
Молекулярна формула: C6H18OSi2
Молекулярна маса: 162,38
Зовнішній вигляд: безбарвна прозора рідина
Типові властивості гексаметилдисилоксану
Предмети | Технічні характеристики |
Питома вага | 0,7600-0,7700 г/см3 |
Показник заломлення (n25D) | 1,3746-1,3750 |
Точка плавлення | -59 °C (освіт.) |
Точка кипіння | 101 °C (освіт.) |
Fp | 33 °F |
Сертифікат: Що ми можемо надати: